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    上海一分赛车科技-软件产品

    1. 高效功能整合SECS/GEM控件产品FabConnect;高速稳定的SECS驱动,支持E84/E5/E30/E37,并且支持E87/E40/E94/E90等标准。

    2. 通用设备实时控制软件系统架构MY Equipment Control Framework (MECF)2.0;适用于Linear,Cluster,Single模式的设备控制。


    MECF 2.0 软件整体控制架构

    基于有限状态机的实时控制系统,FSM based real time control system

    成熟的,验证过的核心架构MECF 2.0(My Equipment Control Framework),Proven technology

    符合半导体行业标准,支持E84/E5/E30/E37,支持E87/E40/E94等 Semi Standard

    模块化设计,可扩展,易维护,Module based


    MECF 2.0 主要模块介绍 - Scheduler

    MECF支持Linear,Cluster以及单腔体的设备。


    MECF 2.0 主要模块介绍 – PP Editor

    针对不同种类的PM(Process Module)可配置不同的Recipe Template。

    柔性化的Sequence/Recipe编辑页面,并对Recipe的修改以及版本进行管控。


    MECF 2.0 主要模块介绍 – 数据采集以及分析模块

    对于不同的PM,采用配置方案采集数据。

    强大的图形化数据分析工具帮助工艺工程师调整工艺。

    数据库能保存长时间的工艺运行历史数据。


    MECF 2.0 主要模块介绍 – 完备的硬件驱动

    内嵌驱动支持TDK Load Port,SMIF。

    内嵌驱动支持Hirata Load Port,SMIF。

    内嵌驱动支持RORZE Load port,EFEM。

    内嵌驱动支持Yaskawa Robot,MP3000,EFEM。

    内嵌驱动支持Brooks Robot, 以及各种Framework。

    内嵌驱动支持各种品牌PLC,以及硬件卡。


    MECF 2.0 主要模块介绍 – SECS/GEM FabConnect

    高效稳定的SECS驱动。

    支持E5/E30/E37,封装好E87/E94/E40等 。

    快速打通Fab Host连机。